1、化合物制造：化肥、氨、硝酸等化合物的制造。

2、惰性保护：惰性保护介质，速冻食品。   

3、制冷剂：低温粉碎等的制冷剂、冷却剂。

4、电子工业：电子工业中的外延、扩散、化学气相淀积、离子注入、等离子干刻、光刻等。

5、标准物：用作标准气、校正气、零点气、平衡气等。